Beschaffung eines halbautomatischen Wafer-Probersystems einschließlich eines integrierten Charakterisierungssystems zur elektrischen Charakterisierung von 200-mm-Wafern. Der Leistungsumfang umfasst die Lieferung, Installation, Inbetriebnahme sowie die Einweisung des Bedienpersonals.

Semi Automatic Prober for characterization of 200 mm Wafers

Gegenstand der Beschaffung ist die Lieferung eines betriebsbereiten halbautomatischen Wafer-Probersystems mit integriertem Charakterisierungssystem. Das Gesamtsystem muss für DC-I/V-, C-V-, C-f-, C-t- sowie Niederfrequenz-Impedanzmessungen bis 10 MHz geeignet sein und als vollständig integrierte Einheit geliefert, installiert, in Betrieb genommen und einschließlich einer Anwenderschulung übergeben werden. Sämtliche Schnittstellen zwischen den Systemkomponenten sind durch den Auftragnehmer sicherzustellen.