Mit der zu Beschaffenden EUV-Quelle, inklusive Instrumentierung zur Charakterisierung der Emission sollen wissenschaftliche Aspekte beleuchtet werden. Dazu gehören vor allem Untersuchungen der Emissionsabhängigkeiten von den Parametern der eingestrahlten Laserleistung. Zusätzlich soll dieser Aufbau als Alternative zu bereits am HI Jena entwickelten kohärenten EUV-Quellen hinsichtlich ihrer Anwendung für bildgebende Verfahren untersucht werden.

EUV-Targets

EUV-Target gemäß Leistungsvberzeichnis inklusive Lieferung, komplette Aufstellung, Inbetriebnahme, Montage und Schulung Das hier ausgeschriebene Projekt wird gefördert und finzanziert durch die Thüringer Aufbaubank. Förderprogramm: Richtlinie zur Förderung der Forschung (FTI-Thüringen FORSCHUNG) vom 13.06.2022, ThürStAnz. Nr. 28/2022, S. 783 f., in Kraft getreten zum 14.06.2022, zuletzt geändert zum 30.07.2024 (ThürStAnz. Nr. 34/2024, S. 1184) Vorhabens-Nr.: 2025 FGI 0001 Vorhabenskurzbezeichnung: Target zur EUV-Erzeugung (TEE)