Vakuum-Zubehörteile für die Realisierung eines Transfersystems zwischen verschiedenen Großgeräten

Vakuum-Zubehörteile für die Realisierung eines Transfersystems zwischen verschiedenen Großgeräten

im Zuge der Ersteinrichtung im INCYTE-Forschungsbau ist es notwendig, fehlende Teile für die Realisierung eines Transfersystems zwischen verschiedenen Großgeräten zu beschaffen. Im vorhandenen Reinraum scheiden drei Leybold-PVD-Anlagen hochempfindliche Dünnschichten unter Ultrahochvakuum ab, die bei Luftkontakt oxidieren oder sich zersetzen. Da jede Anlage für andere Materialien ausgelegt ist müssen Proben für Schichtsysteme zwischen den Anlagen und weiter zur Glovebox und zu den FIB/REM-Systemen transferiert werden, ohne das Vakuum zu verlassen.