Echipament de difractie cu raze X (XRD) pentru aplicații în cercetare-dezvoltare și caracterizarea materialelor utilizate în domeniul microelectronicii și al microsistemelor. Echipamentul trebuie să permită analiza nedistructivă a unei game variate de materiale (filme subțiri, pulberi, structuri nanometrice), în vederea determinării structurii cristaline și a parametrilor microstructurali, fiind destinat aplicațiilor avansate de analiză structurală și optimizare a proceselor tehnologice.

Default lot

Echipament de difractie cu raze X, destinat caracterizării nedistructive a materialelor sintetizate, în vederea determinării structurii cristaline și a parametrilor microstructurali. Acesta va permite analiza unei game largi de materiale (filme subțiri, pulberi, suspensii lichide, membrane), fiind utilizat pentru aplicații precum identificarea și analiza fazelor, rafinare Rietveld, analiză microstructurală, măsurători de reflectivitate, mapare în spațiul reciproc și determinarea stresului rezidual. Echipamentul va face parte dintr-o linie de prototipare de tip „Microfabricarea dispozitivelor semiconductoare”, în cadrul Proiectului PNTS – „Platforma Națională de Tehnologii Semiconductoare”. Echipamentul trebuie să asigure măsurători de înaltă rezoluție, flexibilitate în configurarea experimentală și să fie prevăzut cu sisteme de detecție, software de analiză și mecanisme de operare în condiții de siguranță.