Furnizare componente necesare pentru realizarea unei Surse Liniare de Plasma. Numarul de zile pana la care se pot solicita clarificari inainte de data limita de depunere a ofertelor/candidaturilor: 18 zile. Entitatea contractanta va raspunde in mod clar si complet tuturor solicitarilor de clarificare/informatiilor suplimentare cel tarziu in a 11-a zi inainte de data limita de depunere a ofertelor.

Sistemul de vid

Furnizare componente Sistem de vid: a) Componente necesare pentru incinta de vid: - Niplu: 1 buc.; - Usa de acces rapid: 1 buc.; - Adaptor DN160CF – DN63: 1 buc. b) Sistem de pompe turbo-moleculare: - pompa turbo-moleculara: 3 buc. c) Sistem de pompe de vid preliminar: - pompa scroll: 3 buc. d) Sistem de masurare si monitorizare: - Controler pentru joja de vid: 1 buc. e) Accesorii: - racord flexibil metalic: 2 buc.; - inel de centrare: 10 buc.; - reductie NW 40 KF la NW 25 KF: 2 buc.; - reductie NW 25 KF la NW 16 KF: 2 buc.; - Teu cu flansa NW 25 KF: 2 buc.; - Teu cu flansa NW 16 KF: 2 buc.; - Electrovalva prevazuta cu flansa NW 16 KF: 1 buc.; - Electrovalva prevazuta cu flansa NW 25 KF: 2 buc.

Sistemul de generare a plasmei

Furnizare componente Sistem de generare a plasmei - Sursa de incalzire a catodului, cu o putere nominala de 12 kW: 1 buc.; - Sursa de descarcare, cu o putere nominala de 60 kW: 1 buc.

Sistemul de incalzire a plasmei

Furnizare componente Sistem de incalzire a plasmei: - generator industrial de microunde cu o putere de iesire de 15 kW: 1 buc.