Beschaffung eines umbaubaren Waferprobers für 200-mm-Wafer mit Kompatibilität zum Advantest V93000 Exa Scale Testsystem

Beschaffung eines umbaubaren Waferprobers für 200-mm-Wafer mit Kompatibilität zum Advantest V93000 Exa Scale Testsystem

Gegenstand der Beschaffung ist ein automatischer Waferprober für die Verarbeitung von 200-mm-Wafern. Der Waferprober muss mit dem am Auftraggeber vorhandenen Advantest V93000 Exa Scale Testsystem kompatibel sein. Aufgrund der bestehenden Mess- und Testinfrastruktur muss das System sowohl über eine 9,5"-Pogo-Tower-Docking-Schnittstelle als auch über eine Direct-Docking-Schnittstelle verfügen. Für unterschiedliche Anwendungsfälle werden sowohl Cantilever-Probecards im 9,5"-Pogo-Tower-Betrieb als auch Direct-Docking-Konfigurationen für Hochleistungsanwendungen eingesetzt. Daher muss der Waferprober zwischen beiden Docking-Konfigurationen umrüstbar sein. Detaillierte technische Mindestanforderungen siehe Dokument "Technische Spezifikation"