Studie zur Verwendung von laborbasierten EUV-Strahlungsquellen zur Untersuchung von Degradations- und Kontaminationsprozessen mittels in-situ Messverfahren - Phase 2 - PR1171190-2310-I
Deadline:N/A
Contract award
Duration
08/08/2026 - 31/12/2029
Bidders
Awarded bidders
Name
Price
RWTH Aachen University
