Fourniture d'un banc humide automatisé à solvant pour le décapage BEOL pour le CEA Grenoble

Le CEA LETI souhaite faire l’acquisition d'un banc humide automatisé à solvant pour le décapage BEOL. Le marché comporte également : - Des options à chiffrage obligatoire : o Option 1 : Un capteur de particules pour bacs solvants ; o Option 2 : Un bac dédié à l’Acide Fluorhydrique (HF) ; o Option 3 : Un réservoir de refroidissement. - Des options à chiffrage facultatifs : o Option 4 : Des échangeurs de chaleur et de refroidissement ; o Option 5 : Formation Maintenance de Niveau 1 ; o Option 6 : Formation Maintenance avancée ; o Option 7 : Une extension de garantie d’un (1) an ; o Option 8 : Le prix du transport, assurance comprise, selon les conditions DAP CEA Grenoble (Convention Incoterms ICC 2020).