Au sein de l’institut LETI du CEA Grenoble, le Département Optique et PhoTonique (DOPT) est chargé des recherches, des études, du développement et de la réalisation de composants prototypes dans les domaines d’applications comme les capteurs d’images infrarouges et visibles, les technologies optiques et éclairage, les technologies de visualisation ainsi que la photonique sur silicium. Dans ces développements, la microscopie est une technique indispensable en vue de la caractérisation rapide des étapes technologiques des dispositifs. Le microscope 3D qui fait l’objet de ce cahier des charges doit permettre d’investiguer de multiples applications et dispositifs différents. La liste des types d’études est résumée dans le choix des échantillons test ainsi que dans les spécifications indispensables. Ce document décrit les spécifications relatives à l’achat par le Laboratoire LAIP du Département DOPT, d’un microscope 3D pour l’observation et mesures sans contact de structure de très petites dimensions.

Fourniture d'un Microscope 3D

Au sein de l’institut LETI du CEA Grenoble, le Département Optique et PhoTonique (DOPT) est chargé des recherches, des études, du développement et de la réalisation de composants prototypes dans les domaines d’applications comme les capteurs d’images infrarouges et visibles, les technologies optiques et éclairage, les technologies de visualisation ainsi que la photonique sur silicium. Dans ces développements, la microscopie est une technique indispensable en vue de la caractérisation rapide des étapes technologiques des dispositifs. Le microscope 3D qui fait l’objet de ce cahier des charges doit permettre d’investiguer de multiples applications et dispositifs différents. La liste des types d’études est résumée dans le choix des échantillons test ainsi que dans les spécifications indispensables. Cette consultation comporte 4 options à chiffrages facultatives : Option 1 : Maintenance de 1er niveau Option 2 : Fourniture d'objectifs supplémentaires Option 3 : Fourniture d'outils de calibration/vérification Option 4 : Fourniture de platines d'adaptation pour échantillons jusqu'au wafer 200mm